CO2 レーザーマーキングマシンの場合、レーザーチューブの品質と性能はマシンの動作効率に直接影響し、レーザーチューブは最も重要なコンポーネントの 1 つでもあります。 CO2ガラスレーザー管は一般に硬質ガラス製で筐体構造を採用しています。内層は放電管、2 層目は水冷ジャケット、外層はガス貯蔵管です。{4} CO2 レーザーの放電管直径は、He-Ne レーザー管の放電管の直径よりも大きくなります。一般に、放電管の厚さは出力には影響しません。主に考慮すべき点は、レーザースポットによって引き起こされる回折効果であり、それに応じてチューブの長さを調整する必要があります。長いチューブはより厚く、短いチューブはより薄くする必要があります。放電管の長さはレーザー出力に直接比例します。一定の長さの範囲内では、放電管の 1 メートルあたりの出力は全長に応じて増加します。水冷ジャケットを追加する目的は、作動ガスを冷却して出力を安定させることです。-
1. 硬質ガラス: このコンポーネントは GG17 材料でできており、焼成されて放電管、水冷ジャケット、ガス貯蔵ジャケット、ガス戻り管が形成されます。-密閉型 CO2 ガラス レーザー管は通常、3 層のケーシング構造になっています。-内層が放電管、中層が浄水ジャケット、外層がガス貯蔵ジャケットです。ガス戻し管は、放電管とガス貯留管とを接続する。
2. 共振空洞: このコンポーネントは全反射鏡と出力反射鏡で構成されます。共振空洞の全反射器は、一般に、表面に金膜を備えた光学ガラスをベースとしています。金膜反射板は10.6μmのレーザー光線付近で98%以上の反射率を誇ります。共振空洞の出力反射板は通常、10.6μmの赤外線を透過する材料であるゲルマニウム(Ge)で作られ、上部に多層コーティングが施されています。
3. 電極: CO2 ガラスレーザー管は通常、円筒形の冷陰極を使用します。カソード材料の選択は、レーザーの寿命に大きな影響を与えます。カソード材料の基本的な要件は、低いスパッタリング速度と低いガス吸収速度です。
放電管の両端にはガス貯蔵管が接続されている。ガス貯蔵管の一端の小さな穴は放電管に接続され、他端は螺旋状のガス戻し管を介して放電管に接続されています。これにより、放電管とガス貯蔵管の間でガスが循環し、放電管内のガスが常に交換されます。ガラス レーザー管は、アクリルやプラスチックなどの非金属材料のマーキングや彫刻に広く使用されており、電気めっきされた軟鋼にもマーキングできるように開発されました。{3} CO2 ガラスレーザー管は、電子機器のフレキシブル回路基板やメンブレンに使用されるポリイミドやポリエステルのシートにマーキングする自動化システムでも使用されています。